鋁金屬濺鍍原理
本實驗㆗以射頻磁控濺鍍法配合氮化鋁靶材，在氮化鎵基材㆖成. 長氮化鋁 .... 第㆓章實驗原理及方法 .... 在蒸鍍過程㆗，金屬原子因加熱達到融化的溫度而蒸發形成蒸.
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 鋁金屬濺鍍原理 相關參考資料
國立中山大學光電工程系碩士論文鋁靶材材料檢測與薄膜濺鍍
方面，我們於每次濺鍍後量測鋁薄膜的電阻率，並觀察鋁薄膜表面粗糙度之變化。 關鍵字：鋁薄膜、磁 ..... 製程中，物理氣相沉積為廣泛用於金屬鍍膜的重要技術，如沉積反擴散層 .... 目前製程所使用的濺鍍方法是將上述的原理進一步改良而成。顯然地若 ... http://etd.lis.nsysu.edu.tw 摘要
本實驗㆗以射頻磁控濺鍍法配合氮化鋁靶材，在氮化鎵基材㆖成. 長氮化鋁 .... 第㆓章實驗原理及方法 .... 在蒸鍍過程㆗，金屬原子因加熱達到融化的溫度而蒸發形成蒸. https://etd.lis.nsysu.edu.tw |