遠端電漿產生器

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遠端電漿產生器

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Chapter 7 電漿的基礎原理

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MKS推出新一代壓力檢測、氣體及製程控制方案 - 電子工程專輯.

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Plasma

電漿蝕刻. ▫ CF. 4. 氣體在電漿中分解,產生氟自由基以進. 行氧蝕刻製程 e− + CF ... 電漿. O. O H. 微波. 反應室. H2O, CO2, … 至真空. 幫浦. 遠端電漿產生. 室. O. O O.

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