蝕刻終點 偵 測
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選擇性. ▫ 蝕刻均勻性. ▫ 蝕刻輪廓. ▫ 濕式蝕刻. ▫ 乾式蝕刻. ▫ 反應式離子蝕刻. ▫ 終點 ... 主蝕刻終點. Δd ... 光學感測器可以用來做為電漿蝕刻製程中偵測變化和顯示. http://web.nuu.edu.tw 博碩士論文行動網 - 全國博碩士論文資訊網
... 固定入射角之相位調變式橢圓偏光儀，使之具有線上即時監控的功能；希望應用於實際半導體製程中有圖案之晶圓的電漿蝕刻終點偵測，以及製程中的變化情況。 https://ndltd.ncl.edu.tw 濕蝕刻終點檢測設備 - 揚博科技
蝕刻終點檢測設備(OPTIMA9850). 原廠名稱：Kanematsu PWS LTD. 產品說明： ˙In-Situ光學式蝕刻終點檢測˙得知最佳的蝕刻時間,，有效提升Throughput ˙防止蝕刻 ... http://www.ampoc.com.tw 穨D6類神經網路應用於半導體蝕刻製程圖 - Machine Vision Lab ...
終點偵測(End point detection)是一項非常重要的技. 術，以避免過度蝕刻降低良率(以製程的角色而. 言)。乾式蝕刻製程到達完成點[1]，稱為蝕刻終點，. 一般乾式蝕刻製程 ... http://machinevision.iem.yzu.e 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
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