蝕刻成型
先進式微光學模具的蝕刻(Photo- Etching)製造技術，重點包括有：光罩設計及補償、光蝕刻技術、光學級模具鋼材精密蝕刻資料庫、品質保證技術、材料處理及包裝 ... ,微模造成型技術. 台灣師範大學機電工程學系. C. R. Yang, NTNU IMT. -3-. 矽. 基. 微. 加. 工. 體型微加工. 技術. 蝕刻技術. •等向性蝕刻. •非等向性蝕刻. •蝕刻終止技術.
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先進式微光學模具的蝕刻(Photo- Etching)製造技術，重點包括有：光罩設計及補償、光蝕刻技術、光學級模具鋼材精密蝕刻資料庫、品質保證技術、材料處理及包裝 ... https://www.itri.org.tw 微機電系統(MEMS)製程技術 - 微奈米光機電系統實驗室
微模造成型技術. 台灣師範大學機電工程學系. C. R. Yang, NTNU IMT. -3-. 矽. 基. 微. 加. 工. 體型微加工. 技術. 蝕刻技術. •等向性蝕刻. •非等向性蝕刻. •蝕刻終止技術. http://mems.mt.ntnu.edu.tw 成型與去除材料| Applied Materials
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