薄膜厚度量測儀
橢偏儀(Ellipsometry)是一種利用橢圓偏振光來測量厚度、複折射率或介電常數的. 一種技術。透過同時考慮已知偏振態的入射光與由待測物反射之反射光的振幅與. ,本膜厚量測系統特色在於即時快速量測。 本膜厚量測系統包含兩種接收模式:反射式光纖模式(如圖1)及反射式積分球模式(如圖2)
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