膜厚均勻度計算

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uniformity%的计算公式如何选择? - 知乎

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(5) 可由即時顯示並記錄真空度及加熱溫度之曲線圖. (二)功能需求. 1、Process Chamber 1 可提供 ... 2、膜厚均勻度: (a) Non-Uniformity≦5%( Al:300 nm with ± 7%, Alq3:200 nm with ± 5%). (b) 均匀性量測方法為使用100mm x 100mm玻璃基片測試5點(10mm edge exclusion). (...

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真空镀膜膜层厚度均匀性计算与工件架的设计_百度文库

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驗證方式以本實驗室之N & K膜厚計檢測膜厚分佈來檢測其均勻性。請見附件一。 5.3 膜厚均勻度公式為:(膜厚最大值– 膜厚最小值)/ 2 x 膜厚平均值。 5.4 Tube 4高溫退火製程測試驗收標準為:於一小時三十分鐘內,由待機溫度400 oC穩定升溫至1,000 oC,並穩定持溫於1000 oC。持溫過程中,溫差誤差於+/- 1 oC內,由控制電腦內之 ...

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