紅外線氣體感測器原理
本論文第二章介紹紅外線微機電氣體感測器感測與靜電式吸附相關原理；第. 三章本論文的實驗製作流程與介紹；第四章元件SEM 圖分析與白光干涉儀量測元. 件震動 ... ,感測電極(sensing electrode) 和參考電極(reference electrode) 的氣體濃度不同，因此離子可以在固態. 圖1. 電化學式氣體感測器的工作原理。 圖2. 非色散型紅外線 ...
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