真空電漿清洗機
封測應用上為在封裝打線前由AR電漿清洗基材與晶片上鋁銲墊端點。 ... 工業應用上微波電漿之產生，為在真空環境下，藉由外部微波產生之電場與氣體分子產生振盪， ... ,NEMST-2002系列. 由於電子元件日益縮小，積體電路封裝技術的要求越來越嚴苛，除了可應用電漿清洗機來清潔晶圓外，封裝廠亦在固晶(Die Bonding)、打線(Wire ...
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技術發展沿革-暉盛科技股份有限公司
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