浸潤式微影
後來Blatchford發現，與會者都擠在193奈米浸潤式微影(immersion lithography)技術會議室裡，講師還聲稱，工程師毋須冒險採用157奈米微影技術， ..., 林本堅：「我們所謂「微影」是把一個光罩，上面一些電路的圖形，給它縮小印在晶片上。這究竟是有多小呢？那個時候，我們在做65奈米世代的時候，假使 ...
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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來 - 工業技術研究院
因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就，台積電奈米. 影像技術研究發展副總經理林本堅獲頒今年度的國際電機電子工程師學. 會（IEEE）西澤潤一獎（ ... https://www.itri.org.tw 浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？ | SEMI.ORG
後來Blatchford發現，與會者都擠在193奈米浸潤式微影(immersion lithography)技術會議室裡，講師還聲稱，工程師毋須冒險採用157奈米微影技術， ... http://www1.semi.org 浸潤式微影技術－科技大觀園
林本堅：「我們所謂「微影」是把一個光罩，上面一些電路的圖形，給它縮小印在晶片上。這究竟是有多小呢？那個時候，我們在做65奈米世代的時候，假使 ... https://scitechvista.nat.gov.t 簡單的光學突破3C 科技瓶頸：浸潤式微影
浸潤式微影利用簡單的物理光學原理，包含折射、繞射與鑑別度，可以. 同時改善解析度和焦距深度。使用原有微影系統，搭配浸潤式微影，可以達到更. 短光源波長的效果 ... http://phys5.ncue.edu.tw 衝破晶圓製造瓶頸的一滴水 - 科學人雜誌
全球第一大晶圓代工廠台積電的資深處長林本堅（Burn J. Lin），在會中發表有關浸潤式微影技術（immersion lithography）的演說。這項技術源自阿米西的創意，早 ... https://sa.ylib.com |