曝光顯影原理

2007/4/10. 2004/4/5. 課程綱要. 多層板曝光製程; 內層曝光顯影蝕刻; 內層壓膜曝光設備; 外層曝光電鍍蝕刻; 外層曝光設備; 防焊綠漆曝光製程及設備. 多層板曝光製程. ,4. Introduction. ◇光阻. ◇...

曝光顯影原理

2007/4/10. 2004/4/5. 課程綱要. 多層板曝光製程; 內層曝光顯影蝕刻; 內層壓膜曝光設備; 外層曝光電鍍蝕刻; 外層曝光設備; 防焊綠漆曝光製程及設備. 多層板曝光製程. ,4. Introduction. ◇光阻. ◇塗底. ◇光阻塗蓋. ◇軟烤. ◇曝光. ◇顯影. ◇硬烤 ... 原理. ➢在晶片上塗一層感光材料,使用光源的半聚合光,經. 過以玻璃為主體的光罩後, ...

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Etcher
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曝光顯影原理 相關參考資料
實驗:電路板的製作流程

原理說明:. 一、未處理之感光電路板。 二、曝光:取一設計之光罩圖置於感光劑層之上, ... 三、顯影:用顯影液顯影,亦即是去除已曝光之感光劑層,使未曝光之感光劑層.

http://ezphysics.nchu.edu.tw

曝光原理與曝光機

2007/4/10. 2004/4/5. 課程綱要. 多層板曝光製程; 內層曝光顯影蝕刻; 內層壓膜曝光設備; 外層曝光電鍍蝕刻; 外層曝光設備; 防焊綠漆曝光製程及設備. 多層板曝光製程.

http://www.me.cycu.edu.tw

微影

4. Introduction. ◇光阻. ◇塗底. ◇光阻塗蓋. ◇軟烤. ◇曝光. ◇顯影. ◇硬烤 ... 原理. ➢在晶片上塗一層感光材料,使用光源的半聚合光,經. 過以玻璃為主體的光罩後, ...

http://waoffice.ee.kuas.edu.tw

晶圓的處理- 微影成像與蝕刻

塗敷光阻劑. 溶解度會隨曝光程度改變. 曝光. 改變光阻劑溶解度. 顯影. 去除溶解度較高的光阻劑. 蝕刻. 移除未被光阻劑覆蓋的. 晶圓外膜. 剝除光阻劑. 擴散等表面處理 ...

http://web.cjcu.edu.tw