曝光機canon
由於ASML在曝光機市場領先，迫使佳能另闢蹊徑發展納米壓印技術。Canon佳能(Canon)決定採用納米壓印(NIL)技術，背景源自全球半導體 ..., 答：一種曝光機，其曝光動作為Step by step形式,一次曝整個exposure field, ... 如果是J,則代表I-line）,A代表ASML機台（如果是C，則代表Canon機台）.
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答：一種曝光機，其曝光動作為Step by step形式,一次曝整個exposure field, ... 如果是J,則代表I-line）,A代表ASML機台（如果是C，則代表Canon機台）. https://kknews.cc Canon FPA-3000i5+ Stepper
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