晶圓清洗機
晶圓清洗機. (CL系列). 特性. 內建真空產生器與自動排水裝置。 使用二流體噴嘴加強洗淨效果。 可選用純氮氣式的清洗吹乾流程。 程式控制器可加中/英文顯示板。 ,設備概要：. 適用尺寸：2”- 6”Wafer基材。 基本規格: 外觀材質：P.P.以上耐異丙醇、丙酮溶濟材質。 吸盤：1組。 噴嘴：3(異丙醇X1，丙酮X 1，空噴嘴X1) 。 排風系統。
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