微型氣體感測器
測低濃度標準的目標氣體，可以即時給予警告來. 預防事件發生，而對於理想的氣體感測器必須符. 合下列幾點要素：(1) 低成本(2) 選擇比(3) 微型化. 低耗能氣體感測器 ... ,本研究係以. 微機電系統整合技術平台為基礎，發展金屬氧化物半導體式氣體感測器，透過不同感測薄膜如二氧化錫 ... (SnO2) 氣體感測薄膜，研製微型化氣體感測器，.
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測低濃度標準的目標氣體，可以即時給予警告來. 預防事件發生，而對於理想的氣體感測器必須符. 合下列幾點要素：(1) 低成本(2) 選擇比(3) 微型化. 低耗能氣體感測器 ... https://www.tiri.narl.org.tw 半導體式晶片型氣體感測器研發 - 儀科中心 - 國家實驗研究院
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