廠 務 系統介紹

表2-1 樓層功能介紹. Level 1 設施輔助區域. CLEAN SUB-FAB. 附屬機台維修空間9、化學品供應站、氣體供應. 站、廠務設施主系統管路等。 Level 2 附屬機台區域. SUB-FAB. ,CDA當掉時,用N2去ba...

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表2-1 樓層功能介紹. Level 1 設施輔助區域. CLEAN SUB-FAB. 附屬機台維修空間9、化學品供應站、氣體供應. 站、廠務設施主系統管路等。 Level 2 附屬機台區域. SUB-FAB. ,CDA當掉時,用N2去backup,USE可能就OK,這是”backup”跟redundancy的差異。八.彈性,系統設計要保持彈性,其實有點像口號,真正要執行要靠模組化和標準化,如果做得到彈性 ...

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CDA當掉時,用N2去backup,USE可能就OK,這是”backup”跟redundancy的差異。八.彈性,系統設計要保持彈性,其實有點像口號,真正要執行要靠模組化和標準化,如果做得到彈性 ...

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