尾氣處理設備
尾氣處理設備去除效率檢測服務. 光電、半導體廠內使用大量及多種特殊、危害性氣體做為製程氣體，製程反應後之尾氣對人體及環境可能會造成輕重 ...,半導體製程中常需要使用到許多酸鹼性、易燃性等氣體（例如：SIH4、HF等），這些危險性高之氣體經製程步驟後產生大量廢氣，須藉由後段局部尾氣處理設備（Local ...
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 尾氣處理設備 相關參考資料
含砷廢氣局部(尾氣)處理設備 - 麒翰科技工程有限公司
含砷廢氣局部處理設備 特點： 1.適合離子植入制程及磊晶制程之局部(尾氣)排氣處理設備。 2.以含銅/錳金屬氧化物為主要成分的吸附劑，透過均勻氣流分配技術設計， ... http://www.chihan.tw 尾氣處理設備去除效率檢測服務| SGS光電半導體測試服務
尾氣處理設備去除效率檢測服務. 光電、半導體廠內使用大量及多種特殊、危害性氣體做為製程氣體，製程反應後之尾氣對人體及環境可能會造成輕重 ... http://sgs-utis-semi.blogspot. Airiti Library華藝線上圖書館_局部尾氣處理設備保養人員派遣最佳化 ...
半導體製程中常需要使用到許多酸鹼性、易燃性等氣體（例如：SIH4、HF等），這些危險性高之氣體經製程步驟後產生大量廢氣，須藉由後段局部尾氣處理設備（Local ... http://www.airitilibrary.com + 公司簡介Introduction - IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
榮獲經濟部工業局優良國產環保設備品質優良獎。臺禹公司在電子業製程尾氣處理設備近五年的銷售量皆為國內同業的第一名， 此設備的技術能力已達國際水準。 http://www.ipi-tbc.com.tw 觸媒燃燒設備 - 台灣康肯環保設備尾氣處理裝置.com
利用觸媒，將尾氣(或溶劑)用低溫燃燒方式處理; 在低溫(150~350℃) 下可做處理，因此壓制運轉成本的費用; 熱能的方面，可選配電熱式Heater或是瓦斯燃燒式，皆可 ... http://www.kanken-voc.com 和淞產品-Scrubber--有效去除對人體有害和溫室氣體等的特殊氣體
Scrubber用途: 主要用於氣瓶櫃尾氣處理, 此廢氣除害設備用於去除對人體有害和溫室氣體等的特殊氣體. http://www.jtpc.com.tw 新世代低溫PFCs處理設備開發技術- 技術移轉- 產業服務- 工研院中文版
現況市售商品以電熱、燃燒及觸媒等處理方式居多，其中以觸媒技術為最節省能源消耗的處理方式，然而觸媒技術僅適用於處理無微粒及SiH4製程尾氣(SiH4熱氧氣 ... https://www.itri.org.tw 局部尾氣處理設備保養人員派遣最佳化模式之研究 - 臺灣博碩士論文檢索
半導體製程中常需要使用到許多酸鹼性、易燃性等氣體（例如：SIH4、HF等），這些危險性高之氣體經製程步驟後產生大量廢氣，須藉由後段局部尾氣處理設備（Local ... https://ndltd.ncl.edu.tw 半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估__臺灣博碩士論文知識加值 ...
然而製程局部尾氣處理設備（local scrubber, LS），大多探討設備本身的處理效率，鮮少針對設備本身危害進行分析與評估，即使有相關的風險評估方法，仍舊不夠詳盡 ... https://ndltd.ncl.edu.tw 第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local scrubber
3.1 製程尾氣處理設備Local scrubber. 台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式. https://ir.nctu.edu.tw |