太陽能pecvd
為單晶或多晶矽薄膜太陽能電池製程關鍵步驟之ㄧ。目前業界皆以電漿輔. 助化學氣相沉積法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, 簡稱. PECVD)法來 ... ,PERC 太陽能電池製程產線. Source: ... 電漿化學氣相沉積設備(PECVD)- industry ... PECVD ). • PECVD包含二種主架構: • (1)CCP (capacitive coupled plasma).
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