半導體 晶圓清洗機

酸性與鹹性氣體(這裡指的包括氟化氫HF與氨NF3)可透過鹹性與酸性水洗廢液(參見反應式2與3)以化學吸收的方式減量。對於遵循亨利定律的溶劑,流經水洗器的最低排氣濃度受限於 ...,單晶圓清洗機,Single Wafer Cleaner,凱爾...

半導體 晶圓清洗機

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半導體製程濕式清洗台| 晶圓製造、洗淨廢氣處理| 達思系統

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單晶圓清洗機-KED凱爾迪科技股份有限公司 - 半導體製程

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晶圓清洗機(CL系列) – 東洋技術股份有限公司

晶圓清洗機. (CL系列). 特性. 內建真空產生器與自動排水裝置。 使用二流體噴嘴加強洗淨效果。 可選用純氮氣式的清洗吹乾流程。 程式控制器可加中/英文顯示板。

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晶圓清洗機- 凱爾迪科技股份有限公司 - 半導體製程

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晶圓清洗機仕宇科技有限公司專業半導體設備及零件專業製造

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晶圓盒清洗機- 億尚

晶圓盒清洗機. 1、用途:8 inch ( POD、CASSETTE、RETICLE POD ) CLEANER 。 2、洗淨方式:清洗物置入外籃,投入浸泡全自動洗滌。 流程:1、投入段2、洗淨段3、取出段 ...

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晶圓背面清洗機 - 佳宸科技Semtek

設備說明 此設備應用於研磨後之晶圓背面清洗,主要為去除晶背Si 粉塵及SiO2。 主要產品應用為: 1. 晶圓背面需鍍金屬膜,須完全去除晶圓背面Si 粉塵及SiO2 ,須採用 ...

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