半導體製程設備pdf
半導體元件製造過程可概分為晶圓處理製程（Wafer Fabrication；簡稱Wafer ... 較佳的機械強度，但需要的設備昂貴且技術層面較高，除非各戶要求，否則不進行本製. ,晶圓製程. 材料. 設計. 光罩. 無塵室生產廠房. 測試. 封裝. 最後測試. 加熱. 製程. 微影製程 ... 半導體生產工廠的平面圖. 製程區間. 更衣區. 走道. 設備區. 拉門. 服務區 ...
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