何謂製程中的天線效應應該如何避免
而言之，是由於電漿製程中出現大量電荷，不正常累積於電晶體閘極(Gate)上的金屬 ... 目前製程廠商為了讓設計者避免其晶片產生天線效應，皆有提供antenna rule ... , 天線效應：成因與解決 ... 這種不良的效應會導致產品在製造中就損害。 為避免這種現象損壞了產品，Fab廠會訂出一套規則，當累積電荷的 ... 鋁製程和銅製程不一樣，鋁製程Metal 是用etching 產生的，所以要算的話都得算週長*高。
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Antenna effect-天线效应_百度文库
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