pocket implant作用

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國立交通大學機構典藏:最佳化離子佈植條件以改善電容耦合式 ...

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環型佈植角度對奈米MOSFET數位及類比特性的影響 - 博碩士論文

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Chapter 2 奈米金氧半電晶體2.1 簡介 - Advanced Silicon ...

面心立方堆積,若在無外力的作用下其晶格排列是呈現對稱,而其能帶也呈現簡併. (degeneracy),若 ... 源極與汲極離子佈植(S/D implant)後的退火(annealing),如圖2-26,應變矽在承受. 了900°C 依然 ... halo(或稱口袋(pocket)摻雜)。這是首度在電路 ...

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