遠距電漿清潔
這些製程設備中，約40至50%的設備要使用所謂電漿. 技術來進行 ... 次碰撞過程中所行經路徑的平均距離。 電漿有兩 ... 蝕刻也可包含表面清潔和光阻去除。 電漿設備 ... , 安裝在製程反應室外的Xstream 平臺整合了遠距電漿源，6 kW 或8 kW 的高效能電源以及已獲得專利的固態主動式匹配網路。該匹配網路在一個反應 ...
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電漿源原理與應用之介紹
面，則使用電漿來清潔及改變材料表面以達到特殊的 .... 壓時，中性粒子密度低，電子碰撞頻率遠低於射頻功 ... 窗之距離，使晶圓表面的電漿分佈均勻[2]，符合現代. http://psroc.phys.ntu.edu.tw 高密度電漿源設計製作及其應用在半導體製程之發展情況
這些製程設備中，約40至50%的設備要使用所謂電漿. 技術來進行 ... 次碰撞過程中所行經路徑的平均距離。 電漿有兩 ... 蝕刻也可包含表面清潔和光阻去除。 電漿設備 ... http://ejournal.stpi.narl.org. 關於遠端電漿電源，這是什麼? | Yahoo奇摩知識+
安裝在製程反應室外的Xstream 平臺整合了遠距電漿源，6 kW 或8 kW 的高效能電源以及已獲得專利的固態主動式匹配網路。該匹配網路在一個反應 ... https://tw.answers.yahoo.com 遠程電漿系統應用於化學氣相沉積腔體清潔流場之模擬__臺灣博碩士 ...
目前在業界，例如應用材料公司等半導體設備商，普遍使用遠距電漿系統達到腔體清潔的目的，以增加矽晶圓的產量。因此，如何使系統能達到最大的作用，是一個重要 ... https://ndltd.ncl.edu.tw 利用遠距氧電漿氧化熱蒸鍍鋅層製作氧化鋅之製程與特性研究__臺灣博 ...
本研究採用遠距氧電漿氧化熱蒸鍍鋅層製作氧化鋅，並探討遠距電漿功率與氧化溫度對於氧化鋅層之顯微結構、螢光性質及缺陷濃度之影響。採用熱蒸鍍之優點：（1） ... https://ndltd.ncl.edu.tw 電漿技術於清潔製程之應用
電漿技術於清潔製程之應用. 梁國超博士 [email protected]. 馗鼎奈米科技股份有限公司. 中華民國九十三年七月十三、十四日 ... http://ebooks.lib.ntu.edu.tw Untitled - Creating Nano Technologies
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表面清潔/改質/活化(Surface clean/modification/Activation). ◇平面顯示器(Flat ..... 圖四、馗鼎奈米科技自行研發之寬幅式常壓電漿(遠距式). 圖五、ITO 玻璃經DBD 電 ... http://www.creating-nanotech.c Chapter 7 電漿的基礎原理
8. 平行板電極(電容耦合型). 電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區或. 鞘層. 電極. 到真空幫浦 ..... 電漿. 微波或射頻功率. 製程反應室. 副產物被真. 空幫浦抽走. 遠端電漿. 產生室. 自由基. 加熱板. 遠距電漿系統 ... 用碳氟氣體(造成溫室效應). ‧遠距電漿清潔用NF. http://www.isu.edu.tw |