淺溝槽隔離
... 即便是些微的變異都會對良率造成不可忽視的影響，因此業界已開發出新的淺溝槽隔離(STI)電漿蝕刻技術，以克服邊緣溝槽輪廓控制及圖案崩毀等 ...,淺溝槽隔離層應變工程和氮氣等離子體向氧化矽介質中掺雜氮成長氮氧化矽閘極的介電質結構之互補金屬氧化物半導體技術應用與研究. The Study of STI Strain ...
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