氮氣電漿
本篇論文中，我們探討了經由氮氣及氧氣電漿處理過後，所形成之薄膜的成長率及機制。另外，氮氣電漿處理過之熱形成二氧化矽，以及再氧化之氮氣電漿氮化矽也在本 ... ,薄膜，做後製程處理，期望藉由微波氫氮電漿來改. 善氧化鋅摻雜鋁薄膜的電性與光特性能力，完成微. 波氫氮電漿後的氧化鋅摻雜鋁薄膜，以霍爾量測得. 到它的電阻 ...
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本篇論文中，我們探討了經由氮氣及氧氣電漿處理過後，所形成之薄膜的成長率及機制。另外，氮氣電漿處理過之熱形成二氧化矽，以及再氧化之氮氣電漿氮化矽也在本 ... https://ir.nctu.edu.tw 微波氫氮電漿退火改善直線式連續濺鍍氧化鋅摻雜鋁 ... - 崑山科技大學
薄膜，做後製程處理，期望藉由微波氫氮電漿來改. 善氧化鋅摻雜鋁薄膜的電性與光特性能力，完成微. 波氫氮電漿後的氧化鋅摻雜鋁薄膜，以霍爾量測得. 到它的電阻 ... http://ir.lib.ksu.edu.tw 微波氫氮電漿退火的製程壓力與功率對氧化鋅共摻雜鎵鋁薄膜的光電微 ...
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化製程循環(鍍膜→光阻塗佈→曝光→ | 電漿(plasma)清潔/表面處理. 顯影蝕刻中都還會有清潔 ..... 用較便宜的氣體如乾淨空氣(CDA)或氮氣. (N.)。由於大氣電漿沒有 ... http://www.creating-nanotech.c |