曝後烤目的
曝後烤. 3.軟烤. 2.光阻塗佈. 1.塗底. 7.硬烤. 影像檢查設備. 8.顯影後檢查. 圖2.3 光學微影技術的主要製程流程圖. 1. 塗底(Priming). 塗底的目的是要確保光阻塗佈在晶 ... ,再塗上第2 層SU-8 光阻，厚度25µ m，（d）曝光後立即曝後烤，（e）顯影去除光 ..... 曝後烤的目的在使光阻內殘留的有機溶劑降到最低，使光阻形成更穩定的結構。
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 曝後烤目的 相關參考資料
光阻顯影示意圖（硬烘烤）
http://my.stust.edu.tw 國立交通大學機構典藏- 交通大學
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再塗上第2 層SU-8 光阻，厚度25µ m，（d）曝光後立即曝後烤，（e）顯影去除光 ..... 曝後烤的目的在使光阻內殘留的有機溶劑降到最低，使光阻形成更穩定的結構。 https://ir.nctu.edu.tw MEMS製程
目錄. • I.光罩製作. • II.光阻. • III.清洗晶圓(晶片). • IV.光阻塗佈. • V.軟烤. • VI.曝光. • VII.曝後烤. • VIII.顯影. • IX.硬烤. • X.PDMS ... http://www.isu.edu.tw 第一章 前言
目的是將設計於光罩上的電路圖案，精確的轉印到晶圓的光阻劑上。 由於微影製程是 .... 供光酸催化以及擴散作用的活化能，因此曝後烤的溫度與時間，. 對於化學放 ... http://thuir.thu.edu.tw 微影
過以玻璃為主體的光罩後，打在感光材料上。 .... 目的：在晶片的表面覆上一層厚度均勻、附著性強、且無 ... 微影的製程在經過軟烤的程序之後，原本液態的光阻劑便. http://waoffice.ee.kuas.edu.tw 光刻- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
這層光阻劑在曝光（一般是紫外線）後可以被特定溶液（顯影液）溶解。使特定的光波穿過光掩 .... 硬烤可以達到這個目的，這一步驟也被稱為堅膜。在這過程中，利用高溫 ... https://zh.wikipedia.org SU-8 光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究 - 南亞技術學院
間30秒；以65℃預曝後烤2分鐘，然後以100℃曝後烤10分鐘，再慢慢降至室溫；室溫 .... 促使光阻由中心部分逐漸往外圍移動，以達到光阻劑均勻塗佈的目的。光阻的 ... http://web.nanya.edu.tw 黃光微影製程技術
烤. Soft-bake. 目的：. 1、是將光阻液中的溶劑含量由20至30％至4至7％，光阻. 厚度因此 .... hard bake. 硬烤溫度較軟烤溫度來得高，此溫度高於光阻的玻璃轉變溫度. http://semi.tcfst.org.tw 半導體製造技術第13 章微影: 氣相塗底至軟烤 - SlideShare
半導體製造技術第13 章微影: 氣相塗底至軟烤; 2. 目的<ul><li>研讀本章內容後，你將可學習到： </li></ul><ul><li>解釋微影之基本觀念，包括製程、 ... https://www.slideshare.net |