三次元量測儀精度
接觸式座標量測儀有關量長度測最大允許誤差定義在： ISO 10360-2:2001 ... 假設某機台行程600x600x400(X,Y,Z)，其精度EL,MPE=3+L/200(μm)， ...,評估三次元量床量測所需的精度時，一般做法是採用至少1:5 的三次元量床不確定度與部位公差比（1:10 是理想比例，但在許多情況下，實作成本可能會過於昂貴）。
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